[發明專利]電阻拾振式硅微機械諧振傳感器的鎖相閉環系統無效
| 申請號： | 200610012108.8 | 申請日： | 2006-06-06 |
| 公開（公告）號： | CN1858564A | 公開（公告）日： | 2006-11-08 |
| 發明（設計）人： | 樊尚春;蔡晨光;邢維巍 | 申請（專利權）人： | 北京航空航天大學 |
| 主分類號： | G01H11/08 | 分類號： | G01H11/08;H03L7/08;H03L7/093 |
| 代理公司： | 北京科迪生專利代理有限責任公司 | 代理人： | 劉秀娟;成金玉 |
| 地址： | 100083*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電阻 拾振式硅 微機 諧振 傳感器 閉環 系統 | ||
【權利要求書】：
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