[發(fā)明專利]砷化鎵/砷化鋁分布布拉格反射鏡的濕法腐蝕方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200610011792.8 | 申請日： | 2006-04-26 |
| 公開（公告）號： | CN101064411A | 公開（公告）日： | 2007-10-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李若園;徐波;王占國 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學院半導(dǎo)體研究所 |
| 主分類號： | H01S5/183 | 分類號： | H01S5/183;H01S5/187;C23F1/16;H01L21/3063 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 湯保平 |
| 地址： | 100083北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 砷化鎵 砷化鋁 分布 布拉格 反射 濕法 腐蝕 方法 | ||
1、一種砷化鎵/砷化鋁分布布拉格反射鏡的濕法腐蝕方法，其特征在于，包括如下步驟：
(A)在襯底上，使用分子束外延的方法外延生長砷化鎵緩沖層；
(B)在砷化鎵緩沖層上生長多個周期分布布拉格反射鏡；
(C)對分布布拉格反射鏡進行光刻，形成光刻膠圖形，該光刻膠圖形中光具有光刻膠保護的條寬；
(D)用腐蝕溶液腐蝕掉部分周期的分布布拉格反射鏡；
(E)然后交替使用腐蝕溶液和選擇性腐蝕液分別腐蝕分布布拉格反射鏡，所述的選擇性腐蝕液為檸檬酸與過氧化氫混合的溶液用來選擇性腐蝕多個周期分布布拉格反射鏡中的砷化鎵層，氫氟酸、氟化銨和水混合的溶液用來選擇性腐蝕多個周期分布布拉格反射鏡中的砷化鋁層。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的砷化鎵/砷化鋁分布布拉格反射鏡的濕法腐蝕方法，其特征在于，其中襯底為半絕緣砷化鎵。
3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的砷化鎵/砷化鋁分布布拉格反射鏡的濕法腐蝕方法，其特征在于，其中砷化鎵緩沖層的厚度為200nm。
4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的砷化鎵/砷化鋁分布布拉格反射鏡的濕法腐蝕方法，其特征在于，其中多個周期分布布拉格反射鏡的周期數(shù)為7個。
5、根據(jù)權(quán)利要求1所述的砷化鎵/砷化鋁分布布拉格反射鏡的濕法腐蝕方法，其特征在于，其中所述的腐蝕溶液為磷酸和過氧化氫及水混合的溶液。
6、根據(jù)權(quán)利要求1所述的砷化鎵/砷化鋁分布布拉格反射鏡的濕法腐蝕方法，其特征在于，其中砷化鎵層的厚度為70nm，砷化鋁層的厚度為158nm。
7、根據(jù)權(quán)利要求1所述的砷化鎵/砷化鋁分布布拉格反射鏡的方法腐蝕方法，其特征在于，其中光刻膠圖形中光刻膠保護的條寬為60nm，條寬的間距為140nm，以便于腐蝕深度的測量和形貌觀察。
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