[發明專利]利用激光掃描共聚焦顯微鏡制作高密度光柵的方法無效
| 申請號： | 200610011471.8 | 申請日： | 2006-03-10 |
| 公開（公告）號： | CN1815274A | 公開（公告）日： | 2006-08-09 |
| 發明（設計）人： | 謝惠民;潘兵;方岱寧;邢永明;岸本哲;戴福隆 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | G02B5/18 | 分類號： | G02B5/18;G02B1/00;G03F7/00;G02B21/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100084北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 利用 激光 掃描 聚焦 顯微鏡 制作 高密度 光柵 方法 | ||
【說明書】：
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