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[發明專利]磁場輔助的自輝光等離子體離子注入裝置有效

專利信息
申請號: 200610009999.1 申請日: 2006-04-30
公開(公告)號: CN1845292A 公開(公告)日: 2006-10-11
發明(設計)人: 田修波;楊士勤 申請(專利權)人: 哈爾濱工業大學
主分類號: H01J37/317 分類號: H01J37/317;H01J37/02;H01L21/265;H01L21/425;C30B31/22;C23C14/48
代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 代理人: 張偉
地址: 150001黑龍江*** 國省代碼: 黑龍江;23
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 磁場 輔助 輝光 等離子體 離子 注入 裝置
【權利要求書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖;

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