[發明專利]磁場輔助的自輝光等離子體離子注入裝置有效
| 申請號: | 200610009999.1 | 申請日: | 2006-04-30 |
| 公開(公告)號: | CN1845292A | 公開(公告)日: | 2006-10-11 |
| 發明(設計)人: | 田修波;楊士勤 | 申請(專利權)人: | 哈爾濱工業大學 |
| 主分類號: | H01J37/317 | 分類號: | H01J37/317;H01J37/02;H01L21/265;H01L21/425;C30B31/22;C23C14/48 |
| 代理公司: | 哈爾濱市松花江專利商標事務所 | 代理人: | 張偉 |
| 地址: | 150001黑龍江*** | 國省代碼: | 黑龍江;23 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 磁場 輔助 輝光 等離子體 離子 注入 裝置 | ||
【權利要求書】:
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