[發明專利]等離子體產生裝置有效
| 申請號： | 200610008302.9 | 申請日： | 2006-02-17 |
| 公開（公告）號： | CN1822745A | 公開（公告）日： | 2006-08-23 |
| 發明（設計）人： | 權基中;李尚元;伍賽憲;金宰賢;洪寶翰;李英關 | 申請（專利權）人： | 周星工程股份有限公司 |
| 主分類號： | H05H1/46 | 分類號： | H05H1/46;H05H1/30;H01J37/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 王允方;劉國偉 |
| 地址： | 韓國*** | 國省代碼： | 韓國;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子體 產生 裝置 | ||
【權利要求書】：
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