[發(fā)明專利]基板結(jié)構(gòu)及薄膜圖案層的制造方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200610007266.4 | 申請(qǐng)日： | 2006-02-16 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN101021685A | 公開(kāi)（公告）日： | 2007-08-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 周景瑜 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 虹創(chuàng)科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G03F7/20 | 分類號(hào)： | G03F7/20;G03F7/32;G02F1/133;G02B5/23;B41J2/01 |
| 代理公司： | 北京申翔知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 周春發(fā) |
| 地址： | 臺(tái)灣省新竹科學(xué)工業(yè)園*** | 國(guó)省代碼： | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 板結(jié) 薄膜 圖案 制造 方法 | ||
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- 專利分類
G03 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
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G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
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