[發明專利]基板檢查裝置、基板檢查方法、檢查條件管理系統及部件安裝系統有效
| 申請號： | 200610004711.1 | 申請日： | 2006-01-27 |
| 公開（公告）號： | CN1815250A | 公開（公告）日： | 2006-08-09 |
| 發明（設計）人： | 中村昭彥;鈴木芳邦 | 申請（專利權）人： | 雅馬哈發動機株式會社 |
| 主分類號： | G01R31/00 | 分類號： | G01R31/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 陸弋;代易寧 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 檢查 裝置 方法 條件 管理 系統 部件 安裝 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于雅馬哈發動機株式會社，未經雅馬哈發動機株式會社許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200610004711.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
