[發明專利]可以識別表里的矩形氮化物半導體基片無效
| 申請號： | 200610004423.6 | 申請日： | 2004-01-15 |
| 公開（公告）號： | CN1832162A | 公開（公告）日： | 2006-09-13 |
| 發明（設計）人： | 中山雅博;平野哲也 | 申請（專利權）人： | 住友電氣工業株式會社 |
| 主分類號： | H01L23/544 | 分類號： | H01L23/544;H01L21/02;H01L21/30 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 朱丹 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 可以 識別 表里 矩形 氮化物 半導體 | ||
【說明書】：
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