[發明專利]一種聲表面波器件的制備方法無效
| 申請號： | 200610003586.2 | 申請日： | 2006-02-15 |
| 公開（公告）號： | CN101022270A | 公開（公告）日： | 2007-08-22 |
| 發明（設計）人： | 王叢舜;牛潔斌;涂德鈺;謝常青;陳寶欽;劉明 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | H03H3/08 | 分類號： | H03H3/08 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 段成云 |
| 地址： | 100029*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 表面波 器件 制備 方法 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于中國科學院微電子研究所，未經中國科學院微電子研究所許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200610003586.2/2.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
