[發明專利]半導體納米結構及其制作方法無效
| 申請號： | 200610003180.4 | 申請日： | 2006-02-22 |
| 公開（公告）號： | CN101026203A | 公開（公告）日： | 2007-08-29 |
| 發明（設計）人： | 陳振 | 申請（專利權）人： | 中國科學院半導體研究所 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00;H01L31/08;H01L31/18 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 湯保平 |
| 地址： | 100083北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 納米 結構 及其 制作方法 | ||
【權利要求書】：
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