[發明專利]一種高分辨率自支撐全鏤空透射光柵的制作方法有效
| 申請號： | 200610003067.6 | 申請日： | 2006-02-08 |
| 公開（公告）號： | CN101017214A | 公開（公告）日： | 2007-08-15 |
| 發明（設計）人： | 謝常青;葉甜春 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | G02B5/18 | 分類號： | G02B5/18;G03F7/20;G03F7/26 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 段成云 |
| 地址： | 100029*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 高分辨率 支撐 鏤空 透射 光柵 制作方法 | ||
【權利要求書】：
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