[發明專利]等離子反應器頂置源功率電極無效
| 申請號： | 200610001547.9 | 申請日： | 2006-01-20 |
| 公開（公告）號： | CN1812684A | 公開（公告）日： | 2006-08-02 |
| 發明（設計）人： | 道格拉斯·A·小布什伯格;丹尼爾·J·霍夫曼;歐加·萊格拉曼;詹姆斯·卡達希;堀岡啟治;蔣國楊 | 申請（專利權）人： | 應用材料公司 |
| 主分類號： | H05H1/34 | 分類號： | H05H1/34;H01J37/32;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 趙飛 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子 反應器 頂置源 功率 電極 | ||
【說明書】：
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