[發明專利]襯底運載裝置有效
| 申請號： | 200610001445.7 | 申請日： | 2006-01-17 |
| 公開（公告）號： | CN1936071A | 公開（公告）日： | 2007-03-28 |
| 發明（設計）人： | T·克盧格;O·海默爾 | 申請（專利權）人： | 應用薄膜有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人： | 趙蓉民 |
| 地址： | 德國阿*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 襯底 運載 裝置 | ||
【權利要求書】：
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