[發(fā)明專(zhuān)利]沒(méi)有內(nèi)藏大孔隙的Au－Sn合金凸塊及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200580052111.6
• 申請(qǐng)日: 2005-11-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101313396A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-11-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 石川雅之;小日向正好;三島昭史
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 三菱麻鐵里亞爾株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/60
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/60;C22C5/02
• 代理公司: 中國(guó)專(zhuān)利代理(香港)有限公司
• 代理人: 熊玉蘭;孫秀武

1.沒(méi)有內(nèi)藏大孔隙的Au-Sn合金凸塊，其具有按質(zhì)量百分?jǐn)?shù)計(jì)含有20.5～23.5％Sn、余量由Au和不可避免雜質(zhì)構(gòu)成的組成，并且在基體中具有富Sn初晶相按面積百分?jǐn)?shù)計(jì)結(jié)晶析出0.5～30％的組織。

2.沒(méi)有內(nèi)藏大孔隙的Au-Sn合金凸塊的制造方法，其特征在于，將具有按質(zhì)量百分?jǐn)?shù)計(jì)含有20.5～23.5％Sn、余量由Au和不可避免雜質(zhì)構(gòu)成的組成，并且在基體中具有富Sn初晶相按面積百分?jǐn)?shù)計(jì)結(jié)晶析出0.5～30％的組織的Au-Sn合金粉末與助焊劑混合，獲得Au-Sn軟釬焊糊料，將所得糊料涂覆成點(diǎn)狀后，進(jìn)行回流處理。