[發明專利]帶有高滿刻度值的集成式壓力傳感器

無效

• 申請號: 200580051619.4
• 申請日: 2005-07-22
• 公開（公告）號: CN101268348A
• 公開（公告）日: 2008-09-17
• 發明（設計）人: G·里科蒂;M·莫雷利;L·德拉托雷;A·L·維塔利
• 申請（專利權）人: 意法半導體股份有限公司
• 主分類號: G01L1/18
• 分類號: G01L1/18;G01L9/00;G01L9/06
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 曾祥夌;楊松齡

1.一種壓力傳感器(15)，包括：

具有第一和第二主表面(16a和16b)的半導體材料單塊體(16)，所述第一和第二主表面(16a和16b)彼此相對，并由距離(w)分開，所述單塊體(16)還具有主體區(17)，所述主體區(17)具有敏感部分(23)，所述敏感部分(23)與壓力(P)作用于其上的所述第一主表面(16a)鄰近，和

第一壓力電阻檢測元件(18)，且集成在所述敏感部分(23)上，并具有作為壓力(P)的函數而可變的電阻，

其特征在于，所述主體區(17)是實心和緊湊的區域，并具有與所述距離(w)基本相等的厚度。

2.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其特征在于，所述距離(w)基本上是恒定的。

3.根據權利要求1或2所述的壓力傳感器，其特征在于，所述主體區(17)顯示第一類傳導率；所述壓力傳感器還包括集成在所述敏感部分(23)內的其它壓力電阻檢測元件(18)，與所述第一類型傳導率相對，所述第一和所述其它壓力電阻檢測元件(18)各自包括具有第二類傳導率的摻雜區，所述摻雜區通過在所述敏感部分(23)內引進摻雜物實現。

4.根據上述權利要求中任一項所述的壓力傳感器，其特征在于，所述敏感部分(23)設置在相對于所述主體區(17)的中間位置。

5.根據上述權利要求中任一項所述的壓力傳感器，其特征在于，還包括集成在所述主體區(17)的部分中、并相對于所述敏感部分(23)區別并分開的第一壓力電阻基準元件(24)，所述第一壓力電阻基準元件(24)具有隨所述壓力(P)改變而保持恒定的電阻。

6.根據權利要求5所述的壓力傳感器5，其特征在于，所述第一壓力電阻檢測元件(18)和所述第一壓力電阻基準元件(24)是電氣式地連接的。

7.根據權利要求5或6所述的壓力傳感器，其特征在于，所述第一壓力電阻檢測元件(18)和所述第一壓力電阻基準元件(24)電氣式地連接在橋接電路(25)中。

8.根據權利要求3至7中任一項所述的壓力傳感器，其特征在于，所述第一和所述其它壓力電阻檢測元件(18)是由互連部(30)相互連接的，所述互連部(30)包括具有所述第二類傳導率的摻雜區，所述摻雜區通過在所述敏感部分(23)內引入摻雜物形成。

9.根據上述權利要求中任一項所述的壓力傳感器，其還包括彈性材料墊層(22a)，所述墊層(22a)形成在所述第一主表面(16a)上，并構造成能夠在所述敏感部分(23)上均勻地分布所述壓力(P)。

10.一種壓力測量裝置(41)，包括壓力傳感器(15)和電氣式地連接到所述壓力傳感器(15)上的測量電路(40)，其特征在于，所述壓力傳感器(15)根據權利要求1至9中任一項所述而制成。

11.根據權利要求10所述的裝置，其特征在于，所述壓力傳感器(15)和所述測量電路(40)集成在所述單塊體(16)內。

12.根據從屬于權利要求5的權利要求10或11所述的裝置，其特征在于，所述測量電路(40)根據所述第一壓力電阻檢測元件(18)和所述第一壓力電阻基準元件(24)之間的電阻差異，來進行壓力測量。

13.一種制動系統(1)，其特征在于包括根據權利要求10至12中任一項制成的壓力測量裝置(41)。

14.根據權利要求13所述的系統，其包括制動圓盤(8)，電子控制單元(4)和機電促動器(5)，機電促動器(5)配置成對所述電子控制單元(4)產生的控制信號作出響應而在所述制動圓盤(8)上施加制動作用，其特征在于，所述壓力測量裝置(41)配置成用于執行由所述機電促動器(5)施加在所述制動圓盤(8)上的壓力(P)的測量，所述壓力測量裝置(41)連接到所述電子控制單元(4)，以在反饋中向所述電子控制單元(4)提供所述測量。

15.一種壓力測量方法，其特征在于，使用根據權利要求1至9中任一項制成的壓力傳感器(15)。