[發明專利]用于形成導電圖案的銀有機溶膠墨水

有效

• 申請號: 200580051497.9
• 申請日: 2005-12-02
• 公開（公告）號: CN101258449A
• 公開（公告）日: 2008-09-03
• 發明（設計）人: 許順永;徐東晟;李垠枝;張鉉明
• 申請（專利權）人: EXAX株式會社
• 主分類號: G03G9/08
• 分類號: G03G9/08
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 丁香蘭;龐東成

技術領域

本發明涉及銀有機溶膠墨水，更具體而言，涉及用于形成導電圖案的溶液型銀有機溶膠墨水。

背景技術

半導體和顯示器行業中所用的圖案形成技術可分為三類。一類是減法，主要用于諸如CVD、PVD以及濺射等薄膜技術，其中將金屬層沉淀在基體上，通過平版印刷術在所述金屬層上使光阻層(photo-resist?layer)圖案化，然后將金屬層蝕刻成圖案。另一類是用于諸如絲網印刷等厚膜技術的加法。第三類是加法和減法都采用的加減法。通過加法形成圖案是一種比較經濟的方法，其可以節約材料并且可以減少步驟數，但諸如絲網印刷等厚膜技術的加法不像薄膜工藝那樣精細，因此將其用于不同的工藝。

如果加法完成的圖案更精細，則從環境和降低成本方面而言加法更為有利。例如，已經嘗試將加法應用于原先通過薄膜技術形成的濾色鏡用圖案形成。在此背景下，通過噴墨印刷形成圖案近來受到關注。

自從Vest，R.W.測試了由MOD材料制成的墨水以來(IEEETransactions?on?Components，Hybrids?and?Manufacturing?Technology，12(4)，545-549，1987)，人們對MOD材料就有了研究。Kydd等在WO98-37133中公開了由MOD材料和金屬顆粒組成的噴墨印刷墨水。Kovio?Inc.所擁有的美國專利第6878184號公開了由MOD和還原劑(例如，醛類)制得的納米級顆粒的金屬墨水。已進行了諸多嘗試以利用含有分散的細金屬顆粒(特別是用于形成導電圖案的銀顆粒)的墨水。對于分散有細金屬顆粒(即細銀顆粒)的墨水，應當設計包括噴嘴的新型噴墨印刷系統，這是由于這些墨水的表現與普通墨水不同。此外，為維持懸浮而加入的添加劑會損害所形成的圖案的物理特性。

在上述方面中，如果包含MOD(金屬有機分解材料)的墨水完全是溶液，則可將其用于傳統的噴墨印刷設備中而無需對系統進行大的改造。此外，包含MOD的溶液墨水可降低金屬化溫度，因而可用在諸如塑料等柔性基體上。

Haeuncomtec申請的韓國專利公報第2004-85470號公開了一種噴墨印刷用金屬墨水，所述金屬墨水由5重量％～40重量％的氧化銀；10重量％～20重量％的內酰胺、內酯或碳酸鹽以及20重量％～85重量％的胺組成。考慮到墨水的黑色，實施例中所制備的墨水可能是懸浮體而不是溶液。應當在墨水中加入會損害所形成的圖案的物理特性的乳化劑以維持懸浮。此外，會產生與由顆粒造成的噴嘴阻塞有關的維護問題。

至今所公開的現有技術列于下面的表1和表2。

表1

專利文獻