[發明專利]利用腳本剖析工具自動生成和/或處理光掩模訂單的系統和方法

無效

• 申請號: 200580051043.1
• 申請日: 2005-05-31
• 公開（公告）號: CN101223543A
• 公開（公告）日: 2008-07-16
• 發明（設計）人: 丹尼爾·J.·卡哈蘭;查爾斯·E.·克羅克;愛德華·J.·薩蒂爾
• 申請（專利權）人: 美商福昌公司
• 主分類號: G06Q30/00
• 分類號: G06Q30/00;G06F17/30
• 代理公司: 隆天國際知識產權代理有限公司
• 代理人: 鄭小軍

1.一種生成光掩模訂單的方法，包括下列步驟：

生成通用信息用戶界面，該通用信息用戶界面提示用戶輸入關于發出該光掩模訂單的客戶的通用數據；

生成定制訂單用戶界面，該定制訂單用戶界面提示該用戶基于所述通用數據和/或先前輸入的確定數據，來輸入完成該光掩模訂單所需的確定數據；

基于所述確定數據生成屬性文件；

基于該屬性文件訪問用于生成光掩模訂單的命令腳本文件；以及

利用該命令腳本文件生成光掩模訂單。

2.如權利要求1所述的方法，其中，所述通用數據包括用于識別該客戶的信息。

3.如權利要求2所述的方法，其中，所述通用數據包括登錄名和密碼。

4.如權利要求1所述的方法，其中，所述確定數據包括下列各項中的至少一個：計費信息、貨運信息、產品類型信息、步進器設備信息、最終產品信息、器件名稱、掩模標題、到期日、CD數、數字化數據品質信息、工具規格。

5.如權利要求1所述的方法，其中，所述確定數據包括預先填入的數據。

6.如權利要求5所述的方法，其中，該預先填入的數據包括由該用戶可編輯的數據。

7.如權利要求1所述的方法，其中，由該定制訂單用戶界面提示的確定數據包括與標準光掩模訂單的數據不同的數據。

8.如權利要求1所述的方法，其中，該屬性文件與多種光掩模訂單生成系統中的至少一種兼容使用。

9.如權利要求1所述的方法，其中，以多種專有和標準光掩模訂單格式中的至少一種格式生成該光掩模訂單。

10.如權利要求1所述的方法，其中，該光掩模訂單為標準光掩模訂單格式或專有光掩模訂單格式的完整訂單。

11.如權利要求1所述的方法，其中，該光掩模訂單為標準光掩模訂單格式或專有光掩模訂單格式的非完整訂單。

12.如權利要求1所述的方法，還包括步驟：

驗證由該用戶輸入的確定數據。

13.如權利要求12所述的方法，還包括步驟：

當驗證步驟表明在所述確定數據的輸入中存在錯誤時，提示該用戶輸入正確的數據。

14.如權利要求1所述的方法，還包括步驟：

將該光掩模訂單提交至光掩模制造商計算機系統，以用于進一步處理。

15.如權利要求14所述的方法，還包括步驟：

從該光掩模制造商計算機接收用以確認該光掩模訂單的狀態的消息。

16.如權利要求14所述的方法，還包括步驟：

從該光掩模制造商計算機接收用以識別該光掩模訂單中的至少一個錯誤的消息。

17.如權利要求14所述的方法，還包括步驟：

從該光掩模制造商計算機接收用以確認該光掩模訂單已被正確且完整地提交的消息。

18.如權利要求14所述的方法，其中，利用下列協議之一來提交該光掩模訂單：FTP、HTTP、SMTP以及任何應用程序支持的傳輸協議。

19.如權利要求14所述的方法，還包括步驟：

校驗該光掩模訂單的有效性、可行性、以及合意性中的至少之一。

20.如權利要求19所述的方法，還包括步驟：

基于校驗步驟的結果修改所述確定數據。

21.如權利要求20所述的方法，其中，自動修改所述確定數據。

22.如權利要求20所述的方法，其中，由該用戶手動修改所述確定數據。

23.如權利要求1所述的方法，其中，該通用信息用戶界面為在計算機上生成的通用信息輸入屏幕。

24.如權利要求23所述的方法，其中，該定制訂單用戶界面為在計算機上生成的定制訂單輸入屏幕。

25.如權利要求24所述的方法，其中，在本地計算機上生成該通用信息輸入屏幕和該定制訂單輸入屏幕。