[發(fā)明專利]增透硬掩膜組合物和該組合物的使用方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200580050080.0
• 申請(qǐng)日: 2005-11-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101198907A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魚(yú)東善;鄭知英;吳在珉;吳昌一;金到賢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 第一毛織株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G03F7/11
• 分類號(hào): G03F7/11
• 代理公司: 北京潤(rùn)平知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 周建秋;王鳳桐

1.一種增透硬掩膜組合物，該組合物含有：

(a)含有第一聚合物和第二聚合物的聚合物混合物，

所述第一聚合物含有如下單體單元中的一種或幾種：

其中，A為選自由羰基、氧、亞烴基、氟代亞烴基、苯二氧基、以及它們的任意組合所組成的組中的二價(jià)基團(tuán)；R₁和R₂各自獨(dú)立地為選自由亞烴基、亞芳基、以及它們的任意組合所組成的組中的二價(jià)基團(tuán)；x、y和z為0或整數(shù)，其中，y+z＞0且x≥0，

所述第二聚合物含有芳基；

(b)交聯(lián)組分；以及

(c)酸催化劑。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中，x為0-5，1≤y+z＜1000。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中，所述第一聚合物的一個(gè)或多個(gè)羧基被原酰胺環(huán)化而形成二酰胺。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中，A為選自由羰基、氧、亞甲基、二(三氟甲基)亞甲基和苯二氧基所組成的組中的二價(jià)基團(tuán)，且x等于0或1。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中，R₁和/或R₂為下式的二價(jià)基團(tuán)：

其中，R₃和R₄各自獨(dú)立地為氫或甲基。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中，R₁和R₂各自獨(dú)立地為選自由亞烴基、亞芳基、以及它們的任意組合所組成的組中的二價(jià)基團(tuán)，其中，所述亞烴基和亞芳基含1-20個(gè)碳原子。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，該組合物含有約1-20重量％的所述聚合物混合物、約0.1-5重量％的所述交聯(lián)組分和約0.001-0.05重量％的所述酸催化劑。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，該組合物還含有溶劑。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，該組合物還含有表面活性劑。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中，所述交聯(lián)組分選自由三聚氰胺樹(shù)脂、氨基樹(shù)脂、甘脲化合物、二環(huán)氧化合物、以及它們的任意組合所組成的組中。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中，所述酸催化劑選自由一水合對(duì)甲苯磺酸、對(duì)甲苯磺酸吡啶鎓、2，4，4，6-四溴環(huán)己二烯酮、有機(jī)磺酸的烴基酯、以及它們的任意組合所組成的組中。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的組合物，其中，所述有機(jī)磺酸的烴基酯選自由苯偶姻甲苯磺酸酯、2-硝基苯甲基甲苯磺酸酯、以及它們的任意組合所組成的組中。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的組合物，其中，所述第二聚合物含有如下單體單元：

R₅和R₆各自獨(dú)立地為氫或甲基；

R₇和R₈各自獨(dú)立地選自由氫、交聯(lián)官能團(tuán)、發(fā)色團(tuán)、以及它們的任意組合所組成的組中；R₉選自由亞烴基、苯基二亞烴基、羥苯基亞烴基、以及它們的任意組合所組成的組中；n為整數(shù)。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的組合物，其中，x為0-5，1≤y+z＜1000，而且n為1-190。

15.根據(jù)權(quán)利要求13所述的組合物，其中，所述第一聚合物的一個(gè)或多個(gè)羧基被原酰胺環(huán)化而形成二酰胺。

16.根據(jù)權(quán)利要求13所述的組合物，其中，A選自由羰基、氧、亞甲基、二(三氟甲基)亞甲基、苯二氧基、以及它們的任意組合所組成的組中，且x等于0或1。

17.根據(jù)權(quán)利要求13所述的組合物，其中，R₁和/或R₂為下式的二價(jià)基團(tuán)：

其中，R₃和R₄各自獨(dú)立地為氫或甲基。