[發(fā)明專利]鍍鋅類鋼板的表層氧化膜的膜厚測定方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200580048890.2 | 申請日： | 2005-09-26 |
| 公開（公告）號： | CN101133300A | 公開（公告）日： | 2008-02-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 野呂壽人;名越正泰;平章一郎;杉本芳春;佐藤重臣 | 申請（專利權(quán)）人： | 杰富意鋼鐵株式會社 |
| 主分類號： | G01B15/02 | 分類號： | G01B15/02;G01N23/225 |
| 代理公司： | 中原信達知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 樊衛(wèi)民;郭國清 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 鍍鋅 鋼板 表層 氧化 測定 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種鍍鋅類鋼板的表層氧化膜的膜厚測定方法，其特征在于，利用電子探針顯微分析儀或具有波長分散型X射線檢測器的掃描電子顯微鏡，向鍍鋅類鋼板的表面照射加速至3～6kV的電子射線，通過檢測器和其后段的波高分析器測定由此產(chǎn)生的氧的Kα射線的強度，從而消除鋅的L射線的二次射線的影響。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍鋅類鋼板的表層氧化膜的膜厚測定方法，其特征在于，利用在經(jīng)鏡面研磨后的硅片上形成的已知膜厚的氧化硅被膜，生成表示氧的Kα射線的強度和氧化膜厚度的關(guān)系的校準(zhǔn)線，利用該校準(zhǔn)線計算出鍍鋅類鋼板的表層氧化膜的膜厚。
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