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[發(fā)明專利]鍍鋅類鋼板的表層氧化膜的膜厚測(cè)定方法有效

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 200580048890.2 申請(qǐng)日: 2005-09-26
公開(kāi)(公告)號(hào): CN101133300A 公開(kāi)(公告)日: 2008-02-27
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 野呂壽人;名越正泰;平章一郎;杉本芳春;佐藤重臣 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 杰富意鋼鐵株式會(huì)社
主分類號(hào): G01B15/02 分類號(hào): G01B15/02;G01N23/225
代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人: 樊衛(wèi)民;郭國(guó)清
地址: 日本*** 國(guó)省代碼: 日本;JP
權(quán)利要求書(shū): 查看更多 說(shuō)明書(shū): 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 鍍鋅 鋼板 表層 氧化 測(cè)定 方法
【權(quán)利要求書(shū)】:

1.一種鍍鋅類鋼板的表層氧化膜的膜厚測(cè)定方法,其特征在于,利用電子探針顯微分析儀或具有波長(zhǎng)分散型X射線檢測(cè)器的掃描電子顯微鏡,向鍍鋅類鋼板的表面照射加速至3~6kV的電子射線,通過(guò)檢測(cè)器和其后段的波高分析器測(cè)定由此產(chǎn)生的氧的Kα射線的強(qiáng)度,從而消除鋅的L射線的二次射線的影響。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鍍鋅類鋼板的表層氧化膜的膜厚測(cè)定方法,其特征在于,利用在經(jīng)鏡面研磨后的硅片上形成的已知膜厚的氧化硅被膜,生成表示氧的Kα射線的強(qiáng)度和氧化膜厚度的關(guān)系的校準(zhǔn)線,利用該校準(zhǔn)線計(jì)算出鍍鋅類鋼板的表層氧化膜的膜厚。

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