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[發明專利]光掩模容器無效

專利信息
申請號: 200580046201.4 申請日: 2005-11-25
公開(公告)號: CN101115664A 公開(公告)日: 2008-01-30
發明(設計)人: 邁克爾·L·約翰遜;巴里·L·勞沃斯 申請(專利權)人: 安堤格里斯公司
主分類號: B65D85/48 分類號: B65D85/48;B65D81/02;B29C37/02;B28B1/20
代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 代理人: 任永武
地址: 美國明*** 國省代碼: 美國;US
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 光掩模 容器
【說明書】:

相關申請案

本申請案主張基于第60/630,907號美國臨時專利申請案的權利,其名稱為“光掩模容器(Photomask?Container)”,于2004年11月24日提出申請,該案內容完全并入本文中以提供參考。

技術領域

本發明涉及容器,且具體而言,本發明涉及用于存儲及運輸諸如光掩模等易碎裝置的可重復使用的容器。

背景技術

通常,諸如較大的光掩模(例如長度大于24英寸)等易碎基材裝置是存儲和裝運于預制的塑料盒中。由于其尺寸較大,這些預制的塑料盒,尤其是用于光掩模的塑料盒,制作成本相對較高且通常僅使用一次。因此,提供適用于光掩模或其他基材制造成本低廉,但仍能在運輸和裝運過程中保護產品不被損壞的容器,對于業界而言將是有幫助的。

發明內容

本文所提供的容器適用于存儲和運輸主尺寸至少為24英寸的大光掩模。在一實施例中,本發明的載具實質為單體式,其可旋轉成型、隨后進行機械加工來從本體上分離出封蓋。本發明的容器可由靜電耗散性材料模制而成,例如由其中分散有電導體的聚乙烯模制而成。可在本發明的容器內設置上部及下部襯墊,以牢固設置于其中的光掩模并保護光掩模不會因機械震動而受到損壞。上部及下部襯墊可由靜電耗散性合成樹脂制成,例如由其中分散有電導體的聚乙烯泡沫制成。可在本發明容器的側面嵌件中機械加工出導槽,以保證使光掩模容易地滑入及滑出本發明的容器。

本發明提供一種制造本發明容器的方法,其適用于將光掩模保護性地緊固于其中,所述方法包括:形成一整體式容器本體,從所述容器本體的兩側上移除某些部分以形成狹槽,在所述側面狹槽中嵌入導槽,并形成所述容器的封蓋。所述蓋或封蓋較佳是原始模制而成“本體預成型件”的一部分,所述“本體預成型件”分一次或多次切割成若干部分而形成具有一開口端的本體或容器部分及所述封蓋。所述容器本體及/或蓋可由諸如聚乙烯等合成樹脂制成,所述聚乙烯視需要可包含靜電耗散性材料。所述狹槽可通過機械加工形成。所述導槽可通過熱空氣流焊接于狹槽中。或者,模具可具有金屬嵌件,以在模制工藝過程中形成導槽。

本發明還提供一種將光掩模置于容器中的方法,其中所述容器具有一大體為一整體的本體,所述本體具有可嵌入地密封至所述本體的導槽,所述方法包括:將光掩模嵌入所述本體的一空腔內,使光掩模邊緣接觸所述導槽;并使用蓋來密封所述容器。

本發明的一特征是提供一種模制的單體式容器。上述特征的一優點在于,例如通過不使用焊縫,使所提供容器的制造更為廉價且更為堅固。

本發明的一特征是提供由聚乙烯制成的一個實施例。上述特征的一優點在于,本發明的容器更容易循環使用。

本發明的又一特征是所提供的容器使用寬容差的旋轉成型合成樹脂制成,而嵌件是使用窄容差的機器棒料(例如聚乙烯)制成,以滿足所提出的功能要求。上述特征的一優點在于,通過利用棒料,能以比現有技術加工式設計明顯更低的成本來提供適合的容器。

本發明的一特征是其一實施例可實質上完全由靜電耗散性材料構造而成。上述特征的一優點在于,靜電荷對容器所容納物品的損壞可大幅地最小化或者實質上得到消除。

本發明的再一特征是可使用旋轉成型工藝及設計來形成一單維的容器。上述特征的一優點在于,可切割由此形成的容器來調節其高度,從而對長度進行客制化,以適合于不同高度及尺寸的光掩模。

本發明的再一特征是所提供容器的本體與蓋可由同一工具模制而成。上述特征的一優點在于,所提供容器的制造成本大大降低。

本發明的又一特征在于,可通過一種由熱空氣流焊接合成樹脂的協議來制造容器。上述特征的一優點在于,通過此種焊接協議所制成用于諸如光掩模及半導體晶片等物件的容器,其成本更為低廉,且相較以其他方式制成的容器可更為堅固。

在某些實施例中,可在實施旋轉成型工藝之前,將能提供支撐光掩模或其他基材的槽的導槽嵌入模具中。這些嵌件可具有金屬毛坯,用于保護此后移除的一預成型導槽,并可由熔化溫度高于形成容器本體所用的樹脂的塑料或其他兼容材料制成。

參照附圖閱讀下文說明,本發明的這些及其他特征及優點將變得一目了然。

附圖說明

圖1A是本發明的容器的透視圖;

圖1B是圖1A所示容器的正視圖;

圖2是用于制造本文所述容器的本體預成型件的正視圖;

圖3是圖1所示容器的側視立面圖;

圖3A是圖1A所示容器的本體預成型件的側視圖;

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