[發明專利]液晶顯示裝置用基板的制造方法

有效

• 申請號: 200580046016.5
• 申請日: 2005-10-28
• 公開（公告）號: CN101099106A
• 公開（公告）日: 2008-01-02
• 發明（設計）人: 飯野仁
• 申請（專利權）人: 集成方案株式會社
• 主分類號: G02F1/1335
• 分類號: G02F1/1335;G02F1/13;G02F1/1368
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所
• 代理人: 劉新宇

技術領域

本發明涉及一種在每個像素區域形成了薄膜晶體管的TFT基板上直接形成濾色器或者黑矩陣(black?matrix)的液晶顯示裝置用基板的制造方法，詳細地說，涉及一種通過檢測邊以規定速度搬運TFT基板邊拍攝的像素區域中預先設定的基準位置來控制曝光光的照射定時、從而要在TFT基板的規定位置上高精確度地形成規定的曝光圖案的液晶顯示裝置用基板的制造方法。

背景技術

通常，液晶顯示裝置具有在相對配置的一組透明基板間密封了液晶的結構。在這種情況下，一方的透明基板將像素電極和薄膜晶體管形成為陣列狀的像素區域，在像素區域的周邊配設驅動薄膜晶體管的布線從而成為TFT基板。另外，另一方的透明基板與上述薄膜晶體管以及布線對應地形成黑矩陣，覆蓋黑矩陣的像素而形成濾色器，在黑矩陣以及濾色器上形成共用電極從而成為濾色器基板。在這種結構的液晶顯示裝置中，考慮到上述一組透明基板的對齊誤差，通常將黑矩陣的線寬設計得寬。因此，在現有的液晶顯示裝置中，導致黑矩陣像素的孔徑比(aperture?ratio)降低，難以進行像素區域的微小化。

另一方面，應對上述問題，提出了覆蓋配設在TFT基板的薄膜晶體管以及像素區域周邊上的布線而形成濾色器的所謂“濾色器在TFT上(color?filter?on?TFT)”的液晶顯示裝置用基板的制造方法(例如，參照專利文獻1)。

專利文獻1：特開2004-70196號公報

發明內容

發明要解決的問題

但是，在這種現有的液晶顯示裝置用基板的制造方法中，在TFT基板的薄膜晶體管以及布線的圖案上形成濾色器以及黑矩陣的曝光圖案的曝光工序，是使形成在TFT基板周邊的對齊標記和濾色器或者黑矩陣掩膜的對齊標記相互一致而進行的工序，因此，對各對齊標記的位置以及各圖案的排列要求高的絕對尺寸精確度。特別是在大型顯示器用基板的情況下，其要求變得更嚴格，更難以進行各圖案的位置對齊。因而，無法充分提高薄膜晶體管以及布線的圖案上形成的濾色器以及黑矩陣的重合精確度，因此無法使黑矩陣的線寬變窄，無法抑制孔徑比的降低并實現各像素區域的微小化。因而，無法實現高清晰的液晶顯示裝置。

因此，本發明的目的在于，應對這種問題點，提供一種要在TFT基板的規定位置上高精確度地形成濾色器或者黑矩陣的曝光圖案的液晶顯示裝置用基板的制造方法。

用于解決問題的方案

為了達成上述目的，本發明的液晶顯示裝置用基板的制造方法，是在對每個像素區域設置薄膜晶體管并且將用于驅動該薄膜晶體管的布線設置在上述像素區域周邊的TFT基板上形成濾色器或者黑矩陣的液晶顯示裝置用基板的制造方法，其特征在于，包括：涂敷步驟，在上述TFT基板上涂敷濾色器或者黑矩陣的感光材料；拍攝像素區域的步驟，邊以規定速度搬運涂敷了上述感光材料的TFT基板邊利用具有多個受光元件的攝像單元拍攝上述像素區域，其中，該多個受光元件在與上述TFT基板的搬運方向大致正交的方向上排列成一列狀；檢測基準位置的步驟，比較對該拍攝的圖像進行處理而得到的圖像數據與存儲在存儲部中的查詢表來檢測預先設定在上述像素區域中的基準位置；以及形成步驟，以該檢測的基準位置為基準來控制曝光光的照射定時，在上述TFT基板上的規定位置形成濾色器或者黑矩陣的曝光圖案。

根據這種方法，在對每個像素區域設置薄膜晶體管并且將用于驅動該薄膜晶體管的布線設置在像素區域周邊的TFT基板上涂敷濾色器或者黑矩陣的感光材料，邊以規定速度搬運上述TFT基板邊拍攝像素區域，檢測預先設定在該拍攝的像素區域中的基準位置，以該基準位置為基準來控制曝光光的照射定時。由此，在TFT基板上的規定位置上高精確度地形成濾色器或者黑矩陣的曝光圖案。

另外，通過在上述TFT基板的搬運方向上將上述曝光圖案的形成位置的近側設為攝像位置的攝像單元，進行上述拍攝像素區域的步驟。由此，由攝像單元在TFT基板的搬運方向上拍攝曝光圖案的形成位置的近側。

并且，上述攝像單元是受光元件被排列成一列狀的單元。由此，由受光元件被排列成一列狀的攝像單元獲取像素區域的一維圖像數據。

而且，對上述拍攝的像素區域的圖像進行二值化處理，將該二值化處理的上述圖像數據和與預先設定的上述基準位置相當的圖像數據進行比較，檢測兩數據一致的部分來進行上述檢測基準位置的步驟。由此，對拍攝的像素區域的圖像進行二值化處理，將該二值化處理的像素區域的圖像數據和與預先設定的基準位置相當的圖像數據進行比較，將兩數據一致的部分作為基準位置而檢測。