[發明專利]具有提高對比度的數字微鏡裝置及其方法有效
| 申請號： | 200580045634.8 | 申請日： | 2005-10-28 |
| 公開（公告）號： | CN101095075A | 公開（公告）日： | 2007-12-26 |
| 發明（設計）人： | W·M·鄧肯 | 申請（專利權）人： | 德克薩斯儀器股份有限公司 |
| 主分類號： | G02F1/00 | 分類號： | G02F1/00 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司 | 代理人： | 趙蓉民 |
| 地址： | 美國德*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 提高 對比度 數字 裝置 及其 方法 | ||
1.一種數字微鏡裝置，包括：
襯底的上表面上的多個載流導體，每個載流導體具有上表面；
布置在所述載流導體的所述上表面上的低反射率金屬；
在所述襯底之上形成縫隙的第一和第二微鏡；而且
其中布置在所述載流導體的所述上表面上的所述低反射率金屬減少了所述載流導體通過所述縫隙接收的光的反射。
2.根據權利要求1所述的裝置，其中所述低反射率金屬包括多層堆疊結構。
3.根據權利要求1或2所述的裝置，其中對于從約0.4微米到約0.7微米的光波長，所述低反射率金屬具有低于約0.6的反射率。
4.根據權利要求1或2所述的裝置，其中對于從約0.2微米到約0.8微米的光波長，所述低反射率金屬具有低于約3.5的K值。
5.根據權利要求1-4中任一項所述的裝置，其中所述低反射率金屬包括鈦、鎢、釩或鉭。
6.根據權利要求1-5中任一項所述的裝置，其中所述低反射率金屬在與所述數字微鏡裝置的頂部空間中的元素起反應時形成離子化合物。
7.根據權利要求1-6中任一項所述的裝置，其中所述低反射率金屬是至少部分地透射的。
8.一種用于提高數字微鏡裝置對比度的方法，包括：
通過置于數字微鏡裝置的襯底之上的第一微鏡和第二微鏡形成的縫隙來接收光，所述襯底在所述襯底的上表面上具有多個載流導體，每個載流導體具有被布置在所述載流導體的上表面上的低反射率金屬；
允許通過所述縫隙接收的光接觸所述低反射率金屬；以及
至少部分地減少所述低反射率金屬通過所述縫隙接收的光的反射。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于德克薩斯儀器股份有限公司，未經德克薩斯儀器股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200580045634.8/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
