[發明專利]投影光學系統

有效

• 申請號: 200580045519.0
• 申請日: 2005-12-30
• 公開（公告）號: CN101107570A
• 公開（公告）日: 2008-01-16
• 發明（設計）人: 奧雷利安·多多克;威廉·烏爾希里
• 申請（專利權）人: 卡爾蔡司SMT股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B13/14
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 黨曉林;徐敏剛

1.一種用于將第一物體成像到第二物體區域中的投影光學系統，該 投影光學系統包括：

沿該投影光學系統的光軸布置的多個透鏡；

其中，所述多個透鏡可被分成為多個不重疊的透鏡組，使得各個透 鏡組的總折射力是負折射力或正折射力；

其中，第一透鏡組具有負折射力；

其中，緊鄰所述第一組布置的第二組具有正折射力；

其中，緊鄰所述第二組布置的第三組具有負折射力；

其中，緊鄰所述第三組布置的第四組具有正折射力；

其中，所述第四透鏡組是在所有透鏡組中最靠近所述第二物體布置 的透鏡組；

其中，所述第四透鏡組中的各個透鏡的折射力均等于或大于0，并 且

其中，所述第三透鏡組中緊鄰所述第四透鏡組的一透鏡布置的透鏡 具有面向所述第二物體的凹形表面。

2.一種用于將第一物體成像到第二物體區域中的投影光學系統，該 投影光學系統包括：

沿該投影光學系統的光軸布置的多個透鏡；

其中，所述多個透鏡可被分成為多個不重疊的透鏡組，使得各個透 鏡組的總折射力是負折射力或正折射力；

其中，第一透鏡組具有負折射力；

其中，緊鄰所述第一組布置的第二組具有正折射力；

其中，緊鄰所述第二組布置的第三組具有負折射力；

其中，緊鄰所述第三組布置的第四組具有正折射力；

其中，所述第四透鏡組是在所有透鏡組中最靠近所述第二物體布置 的組；

其中，所述第四透鏡組的各個透鏡的折射力均等于或大于0，并且

其中，將所述光軸上的布置在所述第一物體的區域中的第一位置成 像到所述光軸上的布置在所述第二物體的區域中的第二位置上的一束成 像射線的直徑在所述光軸上的布置在所述第三透鏡組內的第三位置上具 有最小截面，并且其中僅有布置在所述第三位置和所述第二位置之間的 一對透鏡具有相反的折射力，使得該對透鏡中的第一透鏡的折射力和該 對透鏡中的第二透鏡的折射力符號相反。

3.根據權利要求2所述的投影光學系統，其中，在所述光軸上的第 四位置處布置有孔徑光闌，并且其中，所述一對透鏡布置在所述第三位 置和所述第四位置之間。

4.根據權利要求2或3所述的投影光學系統，其中，所述第三透鏡 組的緊鄰所述第四透鏡組的一透鏡布置的透鏡具有面向所述第二物體的 凹形表面。

5.根據權利要求1至4中一項所述的投影光學系統，其中，所述第 四透鏡組還包括孔徑光闌。

6.根據權利要求1至5中一項所述的投影光學系統，其中，所述第 四透鏡組的各個透鏡的折射力均大于0。

7.根據權利要求1至6中一項所述的投影光學系統，其中，折射力 等于或大于0的透鏡的有效直徑中的最大有效直徑比具有負折射力的任 何透鏡的有效直徑大的因數在1.1到2.5之間。

8.根據權利要求1至7中一項所述的投影光學系統，其中，具有負 折射力的任何透鏡的有效直徑小于L/5，其中L是所述第一物體和所述第 二物體之間的距離。

9.根據權利要求1至8中一項所述的投影光學系統，其中，所述第 一和第三透鏡組中的各個透鏡的直徑均小于所述第二透鏡組中任一透鏡 的直徑。

10.根據權利要求1至9中一項所述的投影光學系統，其中，所述 第一透鏡組中的各個透鏡的折射力均為負折射力。

11.根據權利要求1至10中一項所述的投影光學系統，其中，所述 第二透鏡組中的各個透鏡的折射力均大于或等于0。

12.根據權利要求1至11中一項所述的投影光學系統，其中，所述 第三組透鏡中的各個透鏡的折射力均為負折射力。

13.根據權利要求12所述的投影光學系統，其中，所述第三組透鏡 包括至少兩個透鏡。