[發(fā)明專利]表面圖案化和使用受控沉淀式生長(zhǎng)的通孔制造無效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200580043645.2 | 申請(qǐng)日: | 2005-12-12 |
| 公開(公告)號(hào): | CN101084469A | 公開(公告)日: | 2007-12-05 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | D·布丁斯基 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 皇家飛利浦電子股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | G03F7/00 | 分類號(hào): | G03F7/00;C30B7/00 |
| 代理公司: | 永新專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人: | 王英 |
| 地址: | 荷蘭艾*** | 國省代碼: | 荷蘭;NL |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 表面 圖案 使用 受控 沉淀 生長(zhǎng) 制造 | ||
1、一種提供具有圖案化材料的襯底的工藝,所述工藝包括提供包括至少一個(gè)表面的襯底,在所述表面上需要將材料圖案化,所述表面包括具有不同表面性質(zhì)的至少第一和第二表面區(qū)域,其中在所述第一表面區(qū)域上進(jìn)一步具有保護(hù)沉淀式生長(zhǎng)物,并將至少一種材料應(yīng)用到至少所述第二表面區(qū)域,因此,或者基本不將所述應(yīng)用材料提供到所述第一表面區(qū)域,或者如果將所述應(yīng)用材料提供到所述第一表面區(qū)域,可從所述第一表面區(qū)域選擇性地去除所述應(yīng)用材料。
2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的工藝,其中所述第一表面區(qū)域或所述第二表面區(qū)域包括SAM成形分子種。
3、根據(jù)權(quán)利要求2所述的工藝,其中所述第一表面區(qū)域包括第一SAM成形分子種,所述第二表面區(qū)域包括第二SAM成形分子種。
4、根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的工藝,其中通過微接觸印刷應(yīng)用至少一種SAM成形分子種。
5、根據(jù)權(quán)利要求2至4中的任何一項(xiàng)所述的工藝,其中所述SAM成形分子種的暴露官能度可選擇性地允許、促進(jìn)或抑制在其上的沉淀式生長(zhǎng)。
6、根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任何一項(xiàng)所述的工藝,其中所述沉淀式生長(zhǎng)包括鹽沉淀。
7、根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任何一項(xiàng)所述的工藝,其中將所述材料選擇性地應(yīng)用到所述襯底表面的所述第二表面區(qū)域。
8、根據(jù)權(quán)利要求1至6中的任何一項(xiàng)所述的工藝,其中將所述材料應(yīng)用到(i)所述第二表面區(qū)域,和(ii)被提供到所述第一表面區(qū)域的所述保護(hù)沉淀式生長(zhǎng)物,其中(ii)中這樣應(yīng)用,以允許隨后選擇性去除所述沉淀式生長(zhǎng)物和被應(yīng)用到所述沉淀式生長(zhǎng)物的材料。
9、一種制造包括如權(quán)利要求1內(nèi)所定義的具有圖案化材料的襯底的電子器件的工藝,其中通過如權(quán)利要求1至8中的任何一項(xiàng)所定義的工藝制備所述圖案化襯底。
10、根據(jù)權(quán)利要求9所述的工藝,其中所述電子器件是包括LCD或LED顯示器的驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備的有機(jī)電子電路。
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G03F7-00 圖紋面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工藝;圖紋面照相制版用的材料,如:含光致抗蝕劑的材料;圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
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