[發明專利]基板的清掃裝置和清掃方法

有效

• 申請號: 200580043006.6
• 申請日: 2005-09-13
• 公開（公告）號: CN101080283A
• 公開（公告）日: 2007-11-28
• 發明（設計）人: 坂田滋
• 申請（專利權）人: 芝浦機械電子株式會社
• 主分類號: B08B1/02
• 分類號: B08B1/02;B08B5/04;G02F1/13;G02F1/1333
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 胡建新

技術領域

本發明涉及用于清掃形成在液晶面板等基板上的電極的清掃裝置和 清掃方法。

背景技術

液晶面板和等離子體顯示器面板等基板在該基板的側邊部設有電 極，利用壓焊裝置，在該電極上通過加壓加熱來連接TCP(Tape?Carrier? Package即，薄膜封裝)和IC芯片等電子部件。

上述電極和電子部件通常通過各方異性導電部件電連接。因此，在 連接部分，為了得到電氣性良好的導通狀態，需要上述電極面不因附著 灰塵等造成污染。

上述電極通常形成在基板的上表面。但是，在向該電極壓焊電子元 件時，若在基板的下表面附著了灰塵，則有壓焊時損傷基板的危險。從 而，就在向基板的電極面粘貼各向異性導電部件之前，進行利用清掃裝 置清掃該電極面的工作。

上述清掃裝置具有沿著規定方向搬運基板的臺子，在該臺子的上方， 由供給卷軸和卷繞卷軸撐拉來設置帶狀的清掃部件。從噴嘴滴下乙醇等 揮發性溶劑滲入到該清掃部件中，使滲入了該溶劑的部分移動到規定位 置，通過使其按照規定的壓力與被搬運的基板的緣部的電極面接觸，來 清掃上述電極面。

在上述基板是高精密的液晶面板和等離子體顯示器面板的情況下， 不僅在基板上的2個邊上，有時在3個邊和4個邊上形成電極。在清掃 這樣的基板的情況下，以前是利用上述清掃裝置清掃了上述基板的一個 邊以后，通過使載置了基板的臺子按90度依次旋轉來清掃上述基板的剩 余的邊。

專利文獻1中示出了這樣的現有的清掃裝置。

專利文獻1：特開2003-53281號公報

例如，在基板的4個邊上形成有電極的情況下，要用現有的清掃裝 置清掃該基板，就必須要反復進行4次清掃作業。即，在清掃了基板的 一個邊后，使該基板旋轉90度后，清掃與上述一個邊相鄰的邊，按照邊 的數量反復進行該清掃工作。

因此，清掃基板所需的生產節拍時間變長，因此成為導致生產率降 低的原因。

此外，若僅清掃基板的一個側邊，則在清掃時，由于與清掃部件的 摩擦阻力而在基板上產生旋轉力矩，有時基板就向旋轉方向偏移。該情 況下，有時清掃部件就離開基板的一個側邊，不能準確地清掃該側邊。

發明內容

本發明的目的在于提供一種在清掃基板的多個側邊的情況下，能夠 比現有技術縮短生產節拍時間，并且不在基板上產生旋轉力矩后向旋轉 方向偏移的基板的清掃裝置和清掃方法。

即，本發明的一種基板的清掃裝置，清掃基板的至少相對的一對側 邊的上下表面，其特征在于，具有：

第一清掃單元，清掃上述基板的一個側邊的上下表面；

第二清掃單元，與該第一清掃單元相對配置，與上述一個側邊同時 清掃與上述基板的上述一個側邊相對的另一個側邊；

搬運機構，在相對的第一清掃單元與第二清掃單元之間，沿著與這 些清掃單元的對置方向交叉的方向搬運上述基板。

本發明的一種基板的清掃方法，清掃基板的至少相對的一對側邊的 上下表面，其特征在于，具有：

向規定方向搬運上述基板的工序；

同時清掃位于與進行搬運的上述基板的搬運方向交叉的方向上的一 個側邊和與該一個側邊相對的另一個側邊的工序。

一種基板的清掃裝置，清掃基板的至少相對的一對側邊的上下表面， 其特征在于，具有：第一清掃單元，通過壓緊滾子將清掃部件壓緊在上 述基板的一個側邊的上下表面上，從而對該一個側邊的上下表面進行清 掃；第二清掃單元，與該第一清掃單元相對配置，通過壓緊滾子將清掃 部件壓緊在與上述基板的上述一個側邊相對的另一個側邊的上下表面 上，從而對該另一個側邊的上下表面進行清掃；間隔調整機構，按照所 清掃的基板的寬度尺寸，調整上述第一清掃單元和第二清掃單元的相對 間隔；以及搬運機構，在清掃部件被壓緊在上述基板的一個側邊的上下 表面和另一個側邊的上下表面的狀態下，在相對的第一清掃單元與第二 清掃單元之間，沿著與這些清掃單元的對置方向交叉的方向搬運上述基 板，從而同時對上述基板的一個側邊的上下表面和另一個側邊的上下表 面進行清掃。