[發(fā)明專利]形成用于光刻轉(zhuǎn)印的準(zhǔn)直UV光線的方法和設(shè)備

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200580042738.3
• 申請日: 2005-12-13
• 公開（公告）號: CN101095084A
• 公開（公告）日: 2007-12-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: P·多馬諾夫斯基
• 申請（專利權(quán)）人: 拉多韋有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;H05K3/00;G02B6/00
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所
• 代理人: 楊曉光;于靜

1.一種形成準(zhǔn)直UV輻射的方法，用于將圖案光刻轉(zhuǎn)印到涂有光敏聚合物的基底上，該方法包括以下步驟：

(a)提供多個小型的UV輻射源，所述輻射源的UV輻射通過較短

的準(zhǔn)直光學(xué)裝置被準(zhǔn)直，

(b)將所述小型的UV輻射源附接到支撐板，以及

(c)將所述支撐板安裝在掃描滑動片上，并且，通過與所述基底

邊之一平行地移動所述掃描滑動片來曝光所述基底。

2.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，每個小型的UV輻射源通過透鏡被準(zhǔn)直。

3.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，將全部所述透鏡都裝配在多透鏡板上。

4.如權(quán)利要求3所述的方法，其中，多透鏡板具有在1°和10°之間的固定的準(zhǔn)直角度，所述準(zhǔn)直角度根據(jù)潔凈室的質(zhì)量而使用。

5.如權(quán)利要求2所述的方法，其中，所述多透鏡板具有在1°和10°之間可變的可調(diào)節(jié)的準(zhǔn)直角度，該準(zhǔn)直角度通過與所述多透鏡板通信的電動調(diào)節(jié)器進(jìn)行調(diào)節(jié)。

6.如權(quán)利要求5所述的方法，其中，根據(jù)規(guī)定的作業(yè)參數(shù)，在程序控制下進(jìn)行所述準(zhǔn)直角度的調(diào)節(jié)。

7.如權(quán)利要求1所述的方法，其中，所述小型的UV輻射源是多臂UV液體光導(dǎo)的輸出。

8.如權(quán)利要求1所述的方法，包括這樣的設(shè)備，在所述設(shè)備中，所述小型的UV輻射源是UV?LED的輸出。

9.如權(quán)利要求8所述的設(shè)備，包括：

(a)水銀短弧燈，用于產(chǎn)生UV輻射；橢圓體，其將所述UV輻射會聚在焦點(diǎn)上；

(b)介質(zhì)UV反射鏡，其使所述UV輻射偏轉(zhuǎn)到置于超過所述焦點(diǎn)的透鏡光柵板上；

(c)透鏡光柵板，其分開所述UV輻射，并且將分量的分離的輻射束聚焦在多臂UV液體光導(dǎo)的輸入端上；

(d)多臂UV液體光導(dǎo)，其以低的損耗將所述UV輻射傳輸?shù)綊呙杌瑒悠希灰约?/p>

(e)分配光學(xué)裝置，其將從所述多臂UV液體光導(dǎo)發(fā)出的UV束分布在小型的UV輻射源支撐板上。

10.如權(quán)利要求9所述的設(shè)備，其中，所述水銀短弧燈、燈電源單元和所述介質(zhì)UV反射鏡被安裝在獨(dú)立的外殼中。

11.如權(quán)利要求10所述的設(shè)備，其中，所述獨(dú)立的外殼定位在與小型的UV輻射源支撐板環(huán)境分離的環(huán)境中。

12.如權(quán)利要求11所述的設(shè)備，其中，所述小型的UV輻射源支撐板環(huán)境是潔凈室，并且，所述獨(dú)立的外殼定位在所述潔凈室的外面。

13.如權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其中，所述UV二極管以至少一行的形式布置，所述行的長度大于所述基底的較小邊。

14.如權(quán)利要求13所述的設(shè)備，其中，所述UV?LED以由1個、4個、8個、12個或者16個LED構(gòu)成的組的形式布置，以形成方形，該方形具有相對于所述行的長度和掃描方向旋轉(zhuǎn)45°的邊。

15.如權(quán)利要求14所述的設(shè)備，其中，每個方形的對角線通過所述準(zhǔn)直透鏡放大為所述UV?LED組的間距的兩倍，使得每個組的UV輻射能加入到其相鄰的組的輻射能上，以在所述基底上形成均勻的值。

16.如權(quán)利要求14所述的設(shè)備，其中，所述UV?LED組的行以至少兩行的形式布置，每個組的對角線通過所述準(zhǔn)直透鏡放大為使用下述公式計(jì)算的值：2×組的間距/行數(shù)，并且，每行與相鄰的行移位了使用下述公式計(jì)算的值：組的間距/行數(shù)。

17.如權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其中，所述支撐板還包括散熱板。

18.如權(quán)利要求17所述的設(shè)備，其中，所述散熱板包括使用水冷卻方式冷卻的散熱器。

19.如權(quán)利要求18所述的設(shè)備，其中，所述冷卻不被控制，直到所述散熱板達(dá)到最低的溫度，優(yōu)選6℃。

20.如權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其中，所述UV?LED是可控制的，并且可以以編程的方式開關(guān)，以當(dāng)所述掃描滑動片通過所述基底時僅僅曝光所述基底的期望區(qū)域。

21.如權(quán)利要求8所述的設(shè)備，其中，在所述基底上的UV曝光的強(qiáng)度可以通過控制掃描速度和UV?LED的電流來控制。