[發(fā)明專(zhuān)利]具有安全、監(jiān)測(cè)及控制特征的熱衰減反應(yīng)裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200580039478.4
• 申請(qǐng)日: 2005-11-17
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101460782A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-06-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: H·-M·R·秋;丹尼爾·O·克拉科;肖恩·W·克瑞福德;杰伊·J·榮格;尤斯塞夫·A·勞德;羅伯特·韋梅倫
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 應(yīng)用材料股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F23G7/06
• 分類(lèi)號(hào): F23G7/06;F23G5/50;F23N5/24;F23N5/08
• 代理公司: 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司
• 代理人: 陸 嘉

1.一種系統(tǒng)，其至少包含：

控制器；

反應(yīng)室，調(diào)適成通過(guò)該控制器進(jìn)行控制；

導(dǎo)管，導(dǎo)入該反應(yīng)室；

前導(dǎo)，設(shè)置于該反應(yīng)室內(nèi)的導(dǎo)管第一端；

感測(cè)器，設(shè)置于該反應(yīng)室外面的導(dǎo)管第二端，其中該反應(yīng)室耦合至該控制器，及調(diào)適成提供一指示至該控制器以指明該前導(dǎo)是否點(diǎn)燃；及

致動(dòng)器，操作以開(kāi)啟及關(guān)閉該導(dǎo)管。

2.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中上述的控制器調(diào)適成基于來(lái)自該感測(cè)器的指示，而操作該反應(yīng)室。

3.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中上述的感測(cè)器是紫外線(xiàn)感測(cè)器。

4.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中上述的致動(dòng)器調(diào)適成避免當(dāng)導(dǎo)管關(guān)閉之時(shí)，來(lái)自火焰的輻射到達(dá)該感測(cè)器。

5.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中上述的致動(dòng)器調(diào)適成令該導(dǎo)管在一開(kāi)啟狀態(tài)與一關(guān)閉狀態(tài)之間循環(huán)。

6.如權(quán)利要求5所述的系統(tǒng)，其中上述的控制器調(diào)適成通過(guò)比較該導(dǎo)管的實(shí)際狀態(tài)與來(lái)自該感測(cè)器的指示，而測(cè)試該感測(cè)器。

7.如權(quán)利要求6所述的系統(tǒng)，其中上述的致動(dòng)器調(diào)適成令該導(dǎo)管在一開(kāi)啟狀態(tài)與一關(guān)閉狀態(tài)之間，以對(duì)該控制器熟知的規(guī)定速率循環(huán)。

8.如權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其中上述的反應(yīng)室包括燃燒器噴嘴，其調(diào)適成提供燃料至該反應(yīng)室及通過(guò)該前導(dǎo)點(diǎn)燃，及

其中該感測(cè)器再調(diào)適成提供一指示至該控制器以指明該燃燒器噴嘴是否已點(diǎn)燃。

9.如權(quán)利要求8所述的系統(tǒng)，其中上述的控制器調(diào)適成基于該燃燒器噴嘴是否已點(diǎn)燃，而令該反應(yīng)室停機(jī)。

10.一種系統(tǒng)，其至少包含：

第一封罩，包含一反應(yīng)室；

第二封罩，與該第一封罩聯(lián)合；

感測(cè)器，位于該第一封罩內(nèi)及調(diào)適成偵測(cè)該第一封罩內(nèi)的可燃性氣體；

加熱器，位于該第一封罩內(nèi)及維持該感測(cè)器于一規(guī)定溫度；

第一障壁，位于該第二封罩內(nèi)、耦合至該感測(cè)器、及調(diào)適成限制供入該感測(cè)器的能源量為低于一可燃性氣體點(diǎn)燃能量大小；及

第二障壁，位于該第二封罩內(nèi)、耦合至該加熱器、及調(diào)適成限制供入該加熱器的能源量為低于該可燃性氣體點(diǎn)燃能量大小。

11.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其更包含：

控制器，調(diào)適成接收來(lái)自該第一障壁的信號(hào)，及若該信號(hào)指明該可燃性氣體的濃度高低超過(guò)一規(guī)定門(mén)檻值，即令該反應(yīng)室停機(jī)。

12.如權(quán)利要求11所述的系統(tǒng)，其中上述的控制器包括電壓比較器。

13.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中上述的第一封罩包括排氣孔。

14.如權(quán)利要求13所述的系統(tǒng)，其中上述的感測(cè)器設(shè)置為接近該排氣孔。

15.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中上述的第二封罩以不可燃?xì)怏w填充而進(jìn)行凈化。

16.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中上述的感測(cè)器包括抗熱感測(cè)器。

17.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中上述的第一障壁包括電位計(jì)隔離器。

18.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其中上述的第二障壁包含齊納二極管。

19.如權(quán)利要求10所述的系統(tǒng)，其更包含第三封罩，其容納該第一及第二封罩。

20.一種系統(tǒng)，其至少包含：

第一封罩，包含一反應(yīng)室；

第二封罩，與該第一封罩聯(lián)合；

感測(cè)器，位于該第一封罩內(nèi)及調(diào)適成偵測(cè)該第一封罩內(nèi)的可燃性氣體；

障壁，位于該第二封罩內(nèi)、耦合至該感測(cè)器、及調(diào)適成限制供入該感測(cè)器的能源量為低于可燃性氣體點(diǎn)燃能量大小；及

控制器，調(diào)適成接收來(lái)自該障壁的信號(hào)，及若該信號(hào)指明該可燃性氣體的濃度高底超過(guò)規(guī)定門(mén)檻值，即令該反應(yīng)室停機(jī)。