[發(fā)明專利]具有改進(jìn)的性能的超導(dǎo)體厚膜

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200580038907.6
• 申請(qǐng)日: 2005-09-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101258618A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李曉萍;T·科登坎達(dá)斯;E·J·西格爾;W·張;M·W·魯皮奇;黃一兵
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 美國(guó)超導(dǎo)公司
• 主分類號(hào): H01L39/24
• 分類號(hào): H01L39/24
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司
• 代理人: 張宜紅

1.?一種制備超導(dǎo)體氧化物膜的方法，該方法包括以下步驟：

將第一前體溶液沉積在基板上以形成前體膜，所述第一前體溶液包含一種或多種溶劑中的稀土-堿土金屬-過(guò)渡金屬氧化物的前體組分，這些前體組分包括稀土元素的鹽、堿土金屬的鹽以及所述過(guò)渡金屬的鹽，這些鹽中的至少一種是含氟的鹽，所述過(guò)渡金屬與堿土金屬之比值大于1.5；

對(duì)前體膜進(jìn)行處理以形成稀土-堿土金屬-過(guò)渡金屬氧化物超導(dǎo)體，

所述前體膜中過(guò)渡金屬與堿土金屬的總比值大于1.5，所述氧化物超導(dǎo)體的總厚度約大于0.8微米。

2.?如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述對(duì)前體膜進(jìn)行處理的步驟包括：

對(duì)所述前體膜進(jìn)行處理，以形成包含所述第一前體溶液中的稀土金屬、堿土金屬和過(guò)渡金屬的中間體金屬氟氧化物膜；

對(duì)所述中間體金屬氟氧化物膜進(jìn)行加熱，以形成稀土-堿土金屬-過(guò)渡金屬氧化物超導(dǎo)體。

3.?如權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于，所述金屬氟氧化物膜包含釔、鋇和銅，所述膜中與基板/金屬氟氧化物界面相鄰處的鋇∶銅的比值約為2∶3。

4.?如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述過(guò)渡金屬與堿土金屬之比值約大于1.6。

5.?如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，過(guò)渡金屬與堿土金屬的比值約為大于1.5至約1.8。

6.?如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述過(guò)渡金屬包括銅，所述堿土金屬包括鋇。

7.?如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述第一前體溶液包含過(guò)量至少約5摩爾％的銅。

8.?如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述第一前體溶液包含過(guò)量至少約20摩爾％的銅。

9.?如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述第一前體溶液缺少至少5摩爾％的鋇。

10.?如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述第一前體溶液中缺少至少20摩爾％的鋇。

11.?如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一前體溶液的沉積厚度約大于1.0微米。

12.?如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述氧化物超導(dǎo)體的總厚度約大于1.0微米。

13.?如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一前體溶液在兩個(gè)或更多個(gè)沉積步驟中沉積。

14.?如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述沉積前體膜的步驟還包括：

沉積第二前體溶液，該第二前體溶液包含一種或多種溶劑中的稀土-堿土金屬-過(guò)渡金屬氧化物的前體組分，所述前體組分包括稀土元素的鹽、堿土金屬的鹽以及所述過(guò)渡金屬的鹽，這些鹽中的至少一種是含氟的鹽，所述過(guò)渡金屬與堿土金屬之比值至少為1.5，

所述第二前體的組成不同于第一前體的組成。

15.?如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，所述第二前體溶液還包含選擇用來(lái)在超導(dǎo)膜中形成磁通釘扎位點(diǎn)的添加劑組分或者摻雜劑組分中的一種或多種。

16.?如權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于，所述添加劑組分包括能夠在對(duì)前體膜進(jìn)行處理的條件下形成二次相納米顆粒的可溶性組分。

17.?如權(quán)利要求16所述的方法，其特征在于，所述可溶性組分選自以下元素的化合物：稀土、堿土、過(guò)渡金屬、鈰、鋯、銀、鋁和鎂。

18.?如權(quán)利要求15所述的方法，其特征在于，所述摻雜劑組分包含部分替代氧化物超導(dǎo)體中的稀土、堿土或過(guò)渡金屬的金屬。

19.?如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，所述第二前體溶液是在沉積第一前體溶液之前沉積的。

20.?如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，所述第二前體溶液是在沉積第一前體溶液之后沉積的。

21.?如權(quán)利要求14所述的方法，其特征在于，沉積第二前體溶液以形成總厚度約小于0.8微米的氧化物超導(dǎo)體。