[發明專利]靜電吸盤裝置有效
| 申請號： | 200580037607.6 | 申請日： | 2005-10-27 |
| 公開（公告）號： | CN101278385A | 公開（公告）日： | 2008-10-01 |
| 發明（設計）人： | 藤井佳詞 | 申請（專利權）人： | 株式會社愛發科 |
| 主分類號： | H01L21/683 | 分類號： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 許海蘭 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靜電 吸盤 裝置 | ||
1.?一種靜電吸盤裝置，該靜電吸盤裝置在支撐臺的表面靜電吸附被處理基板，其特征在于具備，
包括面對上述支撐臺表面的除電用電極、除電用電位、連接在這些除電用電極與除電用電位之間的除電用電阻的除電電路。
2.?根據權利要求1所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，
上述除電用電極形成在上述支撐臺的表面周緣上。
3.?根據權利要求1所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，
在配置于上述支撐臺內部的吸盤用電極之間形成上述除電用電極。
4.?根據權利要求1所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，
上述除電用電位是接地電位。
5.?根據權利要求1所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，
上述除電用電位是預定的電源電位。
6.?根據權利要求1所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，
上述除電用電阻是可變電阻。
7.?根據權利要求1所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，
上述除電電路包括把上述除電用電極與上述除電用電位之間電連接/斷開的開關單元。
8.?根據權利要求1所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，
上述除電用電極設置在始終接觸放置在上述支撐臺表面的被處理基板的背面的位置。
9.?根據權利要求1所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，
在上述除電用電極上設置有把該除電用電極向上述支撐臺的表面上方賦能的賦能構件。
10.?根據權利要求1所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，
在上述支撐臺的表面配置多個上述除電用電極。
11.?根據權利要求1所述的靜電吸盤裝置，其特征在于，
上述除電用電極連接到使該除電用電極相對上述支撐臺的表面沿著垂直方向升降的升降單元上。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
