[發明專利]鉬濺射靶

有效

• 申請號: 200580037265.8
• 申請日: 2005-08-29
• 公開（公告）號: CN101057000A
• 公開（公告）日: 2007-10-17
• 發明（設計）人: B·勒蒙;J·希爾特;T·威維林;J·G·戴利三世;D·米恩德林;G·羅扎克;J·奧格拉迪;P·R·杰普森;P·庫馬;S·A·米勒;吳榮禎;D·G·施沃茨
• 申請（專利權）人: H.C.施塔克公司
• 主分類號: C22C27/04
• 分類號: C22C27/04;B22F3/14;C23C14/34
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 呂彩霞;李連濤

1.一種鉬濺射靶，具有細的均勻晶粒尺寸以及基本沒有織構 條帶和從靶中心到邊緣的全厚度梯度的均勻織構，并具有至少99.5 重量％的純度，和為了提高性能而任選地被微合金化，其中晶粒尺 寸為至少45μm，以及細的均勻平均晶粒尺寸不超過125μm。

2.如權利要求1所述的鉬濺射靶，具有至少99.95重量％的純 度。

3.如權利要求1所述的鉬濺射靶，具有至少99.99重量％的純 度。

4.如權利要求1所述的鉬濺射靶，具有至少99.999重量％的 純度。

5.如權利要求1所述的鉬濺射靶，其中細的均勻平均晶粒尺 寸不超過100μm。

6.如權利要求1所述的鉬濺射靶，其中細的均勻平均晶粒尺 寸不超過90μm。

7.如權利要求1所述的鉬濺射靶，其中細的均勻平均晶粒尺 寸不超過50μm。

8.根據權利要求1的鉬濺射靶，其通過加入10ppm-1000ppm 的添加元素被微合金化，其中添加元素包括選自Ta、Nb、Cr、W、 V和它們的組合中的一種或多種金屬材料。

9.根據權利要求1或8的鉬濺射靶，具有選自管狀、圓形、 方形和矩形的形狀。

10.根據權利要求1或8的濺射靶，包括具有均勻織構的鉬， 其中110取向平行于縱向，111取向相對于徑向。

11.一種制造根據權利要求1或8的濺射靶的方法，包括：

A)將鉬粉末放在模具中，在32-40ksi的壓力下壓制粉末，并 在1780-2175℃溫度下燒結壓制塊形成毛坯；

B)除去毛坯的中心形成具有內徑ID₁和外徑OD₁的管狀毛坯；

C)加工管狀毛坯形成具有內徑ID和外徑OD_f使得OD₁對OD_f的比為至少3∶1的加工毛坯；和

D)在815-1375℃的溫度下熱處理管狀毛坯。

12.一種制造根據權利要求1或8的濺射靶的方法，包括：

I)將鉬粉末放在模具中，在200MPa-250MPa的壓力下壓制粉 末，并在1780-2175℃溫度下燒結壓制塊形成具有直徑D₀的毛坯；

II)擠壓毛坯形成具有直徑D₂使得D₀對D₂的比為3∶1至5∶1 的擠壓毛坯；

III)在900-1300℃的溫度下對擠壓毛坯施加第一熱處理；

IV)在870-1200℃的溫度下鐓鍛擠壓毛坯形成具有直徑D_f使 得D_f對D₂的比為1.5∶1至3∶1的鍛造毛坯；和

V)在1200-1400℃的溫度下對鍛造毛坯施加第二熱處理。

13.根據權利要求11或12的方法，其中等靜壓地分別進行A) 或I)中的壓制。

14.根據權利要求11或12的方法，其中分別在氫氣中燒結A) 或I)中的粉末。

15.根據權利要求11的方法，其中C)中的加工包括在925-1260 ℃的溫度下擠出管狀毛坯，或旋轉鍛造管狀毛坯。

16.根據權利要求11或12的方法，其中分別在D)或V)中 的熱處理后，濺射靶完全再結晶并且無應變。

17.根據權利要求11的方法，其中濺射靶織構是均勻的，110 平行于縱向，111相對于徑向。

18.根據權利要求11的方法，其中在1250-1375℃的溫度下進 行D)中的熱處理。

19.根據權利要求11的方法，其中在815-960℃的溫度下進行 D)中的熱處理。