[發明專利]減少MEMS器件中的空氣阻尼有效
| 申請號： | 200580036791.2 | 申請日： | 2005-10-24 |
| 公開（公告）號： | CN101049045A | 公開（公告）日： | 2007-10-03 |
| 發明（設計）人： | 彼得·G·斯蒂尼肯;約瑟夫·托馬斯·馬蒂納斯·范貝克;特奧·里克斯 | 申請（專利權）人： | 皇家飛利浦電子股份有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/00 | 分類號： | H04R19/00;H01H59/00 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 陳瑞豐 |
| 地址： | 荷蘭艾*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 減少 mems 器件 中的 空氣 阻尼 | ||
【權利要求書】：
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