[發明專利]液體供應方法及裝置

無效

• 申請號: 200580036639.4
• 申請日: 2005-09-19
• 公開（公告）號: CN101072684A
• 公開（公告）日: 2007-11-14
• 發明（設計）人: 保羅·德魯里;斯蒂芬·坦普爾;邁克爾·珀澤
• 申請（專利權）人: XAAR科技有限公司
• 主分類號: B41J2/19
• 分類號: B41J2/19;B41J2/20
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 黨曉林

1.一種用于向液滴沉積設備供應液體的液體供應裝置，該液滴沉積設備具有入口、出口并且包括與噴射噴嘴相連通的至少一個壓力腔，所述裝置包括：

液體儲存器，該儲存器用于向所述液滴沉積設備供應液體并且接受來自該液滴沉積設備的液體；

入口壓力控制器，該入口壓力控制器適于接受來自所述儲存器的液體，并且將所述入口處的液體的壓力保持在第一預定值；

出口壓力控制器，該出口壓力控制器適于使液體返回到所述儲存器，并且將所述出口處的液體的壓力保持在第二預定值；

所述第一值和第二值之間的差值驅動液流通過所述至少一個壓力腔。

2.根據權利要求1所述的裝置，其中在沉積液滴的過程中，液體從所述出口壓力控制器通過所述儲存器并向所述入口壓力控制器連續循環。

3.根據權利要求1或2所述的裝置，其中所述入口壓力控制器獨立于供應至所述入口的液體的壓力中的任何變化而保持所述入口處的液體的壓力。

4.根據上述權利要求中任一項所述的裝置，其中所述出口壓力控制器獨立于從所述出口返回的液體的壓力中的任何變化而保持所述出口處的液體的壓力。

5.根據上述權利要求中任一項所述的裝置，其中所述入口壓力控制器在空間上相對于所述液滴沉積設備固定。

6.根據上述權利要求中任一項所述的裝置，其中所述出口壓力控制器在空間上相對于所述液滴沉積設備固定。

7.根據上述權利要求中任一項所述的裝置，其中所述入口和出口壓力控制器位于相對于所述液滴沉積設備大致相同的高度。

8.根據上述權利要求中任一項所述的裝置，其中所述入口和出口壓力控制器被結合為單個單元。

9.根據上述權利要求中任一項所述的裝置，其中所述壓力控制器安裝在所述液滴沉積設備上。

10.根據上述權利要求中任一項所述的裝置，其中所述壓力控制器和所述液滴沉積設備結合為單個單元。

11.根據上述權利要求中任一項所述的裝置，其中所述入口壓力控制器包括與所述入口相連的第一墨罐，該第一墨罐內的液體的自由表面限定所述入口處的液體靜壓頭。

12.根據權利要求11所述的裝置，其中在所述第一墨罐內的所述自由表面的高度由溢流堰決定。

13.根據權利要求11或12所述的裝置，其中在所述第一墨罐內的所述自由表面受到大氣壓力。

14.根據上述權利要求中任一項所述的裝置，其中所述出口壓力控制器包括與所述出口相連的第二墨罐，該第二墨罐內的液體的自由表面限定了在所述出口處的液體靜壓頭。

15.根據權利要求14所述的裝置，其中在所述第二墨罐內的所述自由表面的高度由溢流堰決定。

16.根據權利要求14或15所述的裝置，其中所述自由表面受到負壓。

17.根據權利要求12或15所述的裝置，其中所述壓力控制器還包括溢流液體進入其中的相應槽。

18.根據權利要求17所述的裝置，其中進入所述第一墨罐的液流速度根據所述第一墨罐溢流槽內的液體液位進行控制。

19.根據權利要求17或18所述的裝置，其中該裝置包括用于液流從所述第一墨罐溢流槽流向所述第二墨罐溢流槽的旁通路徑。

20.根據權利要求17、18或19所述的裝置，其中所述第二墨罐溢流槽內的液體液位控制從所述第二墨罐溢流槽流向所述儲存器的流速。

21.根據權利要求11至20中任一項所述的裝置，其中所述壓力控制器包括連接所述墨罐和所述入口的管道。

22.根據權利要求21所述的裝置，其中所述管道大致是剛性的。

23.根據權利要求21或22所述的裝置，其中所述管道的長度小于100mm。

24.根據權利要求21至23中任一項所述的裝置，其中經過所述管道的壓降小于經過所述液滴沉積設備的壓降的5％。

25.根據權利要求21至24中任一項所述的裝置，其中經過所述管道的壓降小于5mbar。