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[發明專利]含有Ga的氮化物半導體單晶、其制造方法以及使用該結晶的基片和器件無效

專利信息
申請號: 200580034210.1 申請日: 2005-08-05
公開(公告)號: CN101035933A 公開(公告)日: 2007-09-12
發明(設計)人: 清見和正;長岡裕文;太田弘貴;藤村勇夫 申請(專利權)人: 三菱化學株式會社
主分類號: C30B29/38 分類號: C30B29/38;C23C16/01
代理公司: 北京市柳沈律師事務所 代理人: 張平元;趙仁臨
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 含有 ga 氮化物 半導體 制造 方法 以及 使用 結晶 器件
【說明書】:
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