[發明專利]線性電機、載臺裝置和曝光裝置有效
| 申請號： | 200580032810.4 | 申請日： | 2005-09-30 |
| 公開（公告）號： | CN101032068A | 公開（公告）日： | 2007-09-05 |
| 發明（設計）人： | 森本樹;小南忠弘 | 申請（專利權）人： | 株式會社尼康 |
| 主分類號： | H02K41/02 | 分類號： | H02K41/02;H02K3/30;G03F7/20;H02K3/32;H01L21/027;H02K9/19;H02K3/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 | 代理人： | 雒運樸;徐謙 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 線性 電機 裝置 曝光 | ||
【權利要求書】：
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