[發明專利]用于檢查試樣表面的方法、裝置以及熒光物質的應用有效
| 申請號： | 200580031601.8 | 申請日： | 2005-07-21 |
| 公開（公告）號： | CN101023342A | 公開（公告）日： | 2007-08-22 |
| 發明（設計）人： | 米希爾·戴維·奈克爾克;彼得·克勒伊特 | 申請（專利權）人： | 荷蘭應用科學研究會（TNO） |
| 主分類號： | G01N23/225 | 分類號： | G01N23/225;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京康信知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 章社杲;李丙林 |
| 地址： | 荷蘭代*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 檢查 試樣 表面 方法 裝置 以及 熒光 物質 應用 | ||
【說明書】：
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