[發明專利]SiO蒸鍍材料、原料用Si粉末及SiO蒸鍍材料的制造方法無效
| 申請號： | 200580029460.6 | 申請日： | 2005-08-09 |
| 公開（公告）號： | CN101010444A | 公開（公告）日： | 2007-08-01 |
| 發明（設計）人： | 西岡和雄;木崎信吾 | 申請（專利權）人： | 住友鈦株式會社 |
| 主分類號： | C23C14/24 | 分類號： | C23C14/24;C01B33/037;C01B33/113 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 李貴亮 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | sio 材料 原料 si 粉末 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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