[發明專利]等離子體加工中確定正確的平均偏置補償電壓的方法有效
| 申請號： | 200580028541.4 | 申請日： | 2005-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN101006630A | 公開（公告）日： | 2007-07-25 |
| 發明（設計）人： | A·M·豪瓦德 | 申請（專利權）人： | 蘭姆研究有限公司 |
| 主分類號： | H02H1/00 | 分類號： | H02H1/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曾祥夌;陳景峻 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子體 加工 確定 正確 平均 偏置 補償 電壓 方法 | ||
【說明書】：
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