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[發(fā)明專利]在半導體器件中評估區(qū)域電特性之方法無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 200580025772.X 申請日: 2005-05-25
公開(公告)號: CN101010804A 公開(公告)日: 2007-08-01
發(fā)明(設(shè)計)人: F·維爾布賴特;G·布爾巴赫;K·維喬雷克;M·霍斯特曼 申請(專利權(quán))人: 先進微裝置公司
主分類號: H01L23/544 分類號: H01L23/544
代理公司: 北京紀凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人: 戈泊;程偉
地址: 美國加利*** 國省代碼: 美國;US
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 半導體器件 評估 區(qū)域 特性 方法
【說明書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實用新型專利、外觀設(shè)計專利(升級中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

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