[發(fā)明專利]等離子處理單元無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200580024959.8 | 申請日： | 2005-07-21 |
| 公開（公告）號： | CN101002509A | 公開（公告）日： | 2007-07-18 |
| 發(fā)明（設計）人： | 田才忠;石橋清隆;北川淳一;野澤俊久 | 申請（專利權(quán)）人： | 東京毅力科創(chuàng)株式會社 |
| 主分類號： | H05H1/46 | 分類號： | H05H1/46;H01L21/3065;H01L21/205 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 龍淳 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子 處理 單元 | ||
【說明書】：
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