[發(fā)明專利]確定掃描離子注入機的劑量均勻性的方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200580024947.5 | 申請日： | 2005-07-22 |
| 公開（公告）號： | CN1989586A | 公開（公告）日： | 2007-06-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | D·W·瓦格納;B·加洛;P·T·金德斯利;D·E·阿貝勒;J·Y·西蒙斯 | 申請（專利權(quán)）人： | 應(yīng)用材料有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 趙蓉民;薛峰 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 確定 掃描 離子 注入 劑量 均勻 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于應(yīng)用材料有限公司，未經(jīng)應(yīng)用材料有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200580024947.5/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
