[發明專利]浸入式光刻系統無效
| 申請號： | 200580022586.0 | 申請日： | 2005-06-22 |
| 公開（公告）號： | CN101014905A | 公開（公告）日： | 2007-08-08 |
| 發明（設計）人： | R·B·格蘭特;P·A·斯托克曼 | 申請（專利權）人： | 英國氧氣集團有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 劉紅;張志醒 |
| 地址： | 英國英格*** | 國省代碼： | 英國;GB |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 浸入 光刻 系統 | ||
【說明書】：
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