[發明專利]通過將等離子體中的電弧電流早期分流而快速滅弧的設備和方法

無效

• 申請號: 200580022284.3
• 申請日: 2005-06-09
• 公開（公告）號: CN101076425A
• 公開（公告）日: 2007-11-21
• 發明（設計）人: 米蘭·伊利克;卡利安·N·C·西德巴圖拉;安德雷·B·馬利寧
• 申請（專利權）人: 先進能源工業公司
• 主分類號: B23K9/00
• 分類號: B23K9/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 韓宏

1、用于直流等離子體工藝的設備，包括：

a)用于等離子體處理的腔，具有包括在其中的至少兩個電極；

b)具有輸出電感和輸出電容的電源，用于向所述電極提供電壓以點燃等離子體并輸送能量；

c)連接到該電感的分流開關，以在電弧產生時從該等離子體分流電流；以及

d)連接到該分流開關的輸出端的阻塞二極管，用以隔離該輸出電容和該分流開關。

2、如權利要求1所述的用于直流等離子體工藝的設備，其中，在檢測到所述電弧后激活所述分流開關，并且所述分流開關將所述電流分流第一預定時間間隔。

3、如權利要求2所述的用于直流等離子體工藝的設備，其中，在所述等離子體中的電流到達零之前所述第一預定時間間隔結束時，切斷所述分流開關，其中電流從所述電源重新引向所述等離子體。

4、如權利要求3所述的用于直流等離子體工藝的設備，其中，如果所述電弧沒有熄滅，則在第二預定時間間隔結束時重新激活所述分流開關。

5、用于直流等離子體工藝的設備，包括：

a)用于等離子體處理的腔，具有包括在其中的至少兩個電極；

b)電源，用于向所述電極提供電壓以點燃等離子體并輸送能量；

c)和該電源的輸出電容并聯的分流開關，用于在電弧產生時從該等離子體分流電流；以及

d)與該分流開關串聯的直流源，其中該直流源提供用于將該電流更快地拉至更低以熄滅該電弧的電壓。

6、如權利要求5所述的用于直流等離子體工藝的設備，其中，一二極管和所述分流開關串聯連接，使得在所述分流開關分流電流時，所述二極管正向偏置。

7、如權利要求6所述的用于直流等離子體工藝的設備，其中所述分流開關的激活發生在檢測到所述電弧后，而且所述分流開關將所述電流分流第一預定時間。

8、如權利要求7所述的用于直流等離子體工藝的設備，其中所述等離子體的電流到達零之前所述第一預定時間間隔結束時，切斷所述分流開關，其中電流從所述電源重新引向所述等離子體。

9、如權利要求8所述的用于直流等離子體工藝的設備，其中，如果所述電弧沒有熄滅，則在第二預定時間結束時重新激活所述分流開關。

10、一種操作直流等離子體工藝的方法，包括下列步驟：

a)向等離子體腔中的電極提供電壓以點燃等離子體并輸送能量；

b)在電弧產生時從該等離子體分流電流一第一預定時間間隔；

c)在該等離子體電流到達零之前、該第一預定時間間隔結束時，切斷該分流的電流，其中電流重新流向該等離子體；以及

d)如果該電弧沒有熄滅，則在第二預定時間結束時重新激活該電流的分流。