[發明專利]用于改進的對準工藝集成的成角的細長特征部有效
| 申請號： | 200580021087.X | 申請日： | 2005-06-03 |
| 公開（公告）號： | CN1973370A | 公開（公告）日： | 2007-05-30 |
| 發明（設計）人： | K·休金斯 | 申請（專利權）人： | 英特爾公司 |
| 主分類號： | H01L23/544 | 分類號： | H01L23/544 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 陸嘉 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 改進 對準 工藝 集成 細長 特征 | ||
【說明書】：
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