[發明專利]供應二氧化碳的方法和系統

無效

• 申請號: 200580018530.8
• 申請日: 2005-05-31
• 公開（公告）號: CN101137451A
• 公開（公告）日: 2008-03-05
• 發明（設計）人: M·C·約翰遜;M·L·蒂姆;J·F·比林哈姆
• 申請（專利權）人: 普萊克斯技術有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B7/00;B01J3/00;H01L21/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 韋欣華;林森

1.一種供應高壓二氧化碳到具有可變二氧化碳流量要求的應用工具中的方法，包括：

提供高壓二氧化碳進料流到緩沖容積；

保持所述緩沖容積內的壓力在超過所述應用工具所需壓力的最低壓力和最高壓力之間，以便于以所述最低壓力包含于緩沖容積內的二氧化碳平均密度不同于以所述最高壓力包含于所述緩沖容積內的二氧化碳平均密度；

調節所述緩沖容積內的平均溫度，改變以最低壓力包含于所述緩沖容積內的二氧化碳平均密度與以最高壓力包含于所述緩沖容積內的二氧化碳平均密度之間的差，以便于滿足與應用工具相關的流量要求；和

從所述緩沖容積以應用工具需要的可變流速輸送高壓二氧化碳供應流。

2.根據權利要求1所述的方法，進一步包括：基于對緩沖容積的溫度調節，減少輸送預定量二氧化碳到應用工具所必需的緩沖客積。

3.根據權利要求1所述的方法，其中應用工具的流量要求是不連續的。

4.根據權利要求1所述的方法，其中應用工具是半導體應用工具。

5.根據權利要求1所述的方法，其中輸送到應用工具所必需的二氧化碳是預定的。

6.根據權利要求1所述的方法，其中所述緩沖容積是至少一個壓力容器。

7.根據權利要求1所述的方法，進一步包括：通過加熱或冷卻裝置加熱或冷卻包含于所述緩沖容積內的二氧化碳。

8.一種供應高壓二氧化碳到具有可變二氧化碳流量要求的應用中的系統，包括：

接收高壓二氧化碳進料流的緩沖容積，其中所述緩沖容積內的壓力維持在超過所述應用工具所需壓力的最低壓力和最高壓力之間，以便于以所述最低壓力存在的所述二氧化碳密度不同于以所述最高壓力存在的所述二氧化碳密度，并調節所述緩沖容積的溫度；

二氧化碳純化單元，其布置在所述緩沖容積的上游，用于輸送高壓二氧化碳進料流；和

應用工具，其布置在所述緩沖容積的下游，接收以由應用工具所需的可變流速來自所述緩沖容積的二氧化碳。

9.根據權利要求8所述的系統，進一步包括：布置在所述二氧化碳純化單元下游的高壓二氧化碳進料流加熱或冷卻裝置。

10.根據權利要求8所述的系統，進一步包括：布置在純化單元下游的二氧化碳加壓裝置，用于提供由儲存艙供應的二氧化碳。