[發(fā)明專利]控制處理系統(tǒng)操作的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200580018296.9 | 申請(qǐng)日： | 2005-06-03 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN1965273A | 公開（公告）日： | 2007-05-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | J·R·史密斯;M·R·切爾尼亞克;N·J·吉賓斯 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 英國(guó)氧氣集團(tuán)有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G05B19/418 | 分類號(hào)： | G05B19/418;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中國(guó)專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 張亞寧;王勇 |
| 地址： | 英國(guó)英格*** | 國(guó)省代碼： | 英國(guó);GB |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 控制 處理 系統(tǒng) 操作 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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