[發明專利]用于改進顯微蝕刻的對齊和覆蓋的系統和方法

無效

• 申請號: 200580018208.5
• 申請日: 2005-06-02
• 公開（公告）號: CN101379435A
• 公開（公告）日: 2009-03-04
• 發明（設計）人: A·謝爾拉;S·V·斯利尼瓦森;K·阿杜斯米利
• 申請（專利權）人: 得克薩斯州大學系統董事會
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 陳煒

1.一種用于確定布圖器件最小化其上所記錄的圖案與參考圖案之間的尺寸變 化所用的變形參數的方法，所述方法包括：

比較所述記錄圖案的特征相對于所述參考圖案的相應特征之間的空間變化； 以及

確定施加于所述布圖器件以減小所述尺寸變化的變形力，其中所述力具有預 定的限制。

2.如權利要求所述的方法，其特征在于，所述限制包括在所述變形力中略去 張力。

3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述限制包括略去會減弱所述布 圖器件的結構完整性的高幅度力。

4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，確定還包括確定受限力矢量，且 所述變形力根據所述受限力矢量來確定。

5.如權利要求1所述的方法，其特征在于，確定還包括最小化覆蓋誤差的最 大絕對值的幅度。

6.如權利要求1所述的方法，其特征在于，確定還包括確定施加于所述布圖 器件以減小所述尺寸變化的壓縮變形力。

7.如權利要求1所述的方法，其特征在于，確定還包括確定施加于所述布圖 器件的多對所述變形力，還包括將所述多對變形力施加于所述布圖器件，且所述多 對變形力的各個力具有相同的幅度和方向，且所述一對力之一的方向與關聯于所述 一對力的另一個力的方向相反。

8.如權利要求1所述的方法，其特征在于，比較還包括將所述布圖器件上的 覆蓋特征與關聯于將所述圖案寫在所述布圖器件上的計算機數據的相應覆蓋特征 作比較。

9.如權利要求1所述的方法，其特征在于，確定還包括最小化覆蓋誤差的最 大絕對值的幅度，并識別全局最小值。

10.一種用于確定布圖器件最小化其上所記錄的圖案與參考圖案之間的尺寸 變化所用的變形參數的方法，所述方法包括：

比較所述記錄圖案的特征相對于所述參考圖案的相應特征之間的空間變化；

以及

確定施加于所述布圖器件以減小所述尺寸變化的變形力，且全部所述變形力 是施加于所述布圖器件的壓縮力。

11.如權利要求10所述的方法，其特征在于，確定還包括確定所述變形力使 全部所述變形力具有與其相關聯的、低于預定閾值的幅度。

12.如權利要求10所述的方法，其特征在于，確定還包括最小化覆蓋誤差的 最大絕對值的幅度。

13.如權利要求10所述的方法，其特征在于，確定還包括確定施加于所述布 圖器件的多對所述變形力，還包括將多對所述變形力對施加于所述布圖器件，所述 多對變形力的各個力具有相同的幅度和方向，且所述一對力之一的方向與關聯于所 述一對力的另一個力的方向相反。

14.如權利要求10所述的方法，其特征在于，比較還包括將所述布圖器件上 的覆蓋特征相對于關聯于用于將所述圖案寫在所述布圖器件上的計算機數據的相 應覆蓋特征作比較。

15.如權利要求10所述的方法，其特征在于，確定還包括最小化覆蓋誤差的 最大絕對值的幅度，并識別全局最小值。

16.一種用于確定布圖器件最小化其上所記錄的圖案與參考圖案之間尺寸變 化所用的變形參數的系統，所述方法包括：

用于比較所述記錄圖案的特征相對于所述參考圖案的相應特征之間的空間變 化的裝置；以及

用于確定施加于所述布圖器件以減小所述尺寸變化的變形力、且全部所述變 形力是施加于所述布圖器件的壓縮力的裝置。

17.如權利要求16所述的系統，其特征在于，用于確定的裝置還包括用于確 定所述變形力使全部所述變形力具有小于預定閾值的與其相關聯的幅度的裝置。

18.如權利要求16所述的系統，其特征在于，用于確定的裝置還包括用于最 小化覆蓋誤差的最大絕對值的幅度的裝置。

19.如權利要求16所述的系統，其特征在于，確定還包括用于確定施加于所 述布圖器件的多對所述變形力的裝置，還包括用于將多對所述變形力對施加于所述 布圖器件，所述多對變形力的各個力具有相同幅度和方向，且所述一對力之一的方 向與關聯于所述一對力的另一個力的方向相反的裝置。