[發明專利]偏振UV曝光系統無效
| 申請號： | 200580018091.0 | 申請日： | 2005-04-20 |
| 公開（公告）號： | CN1973243A | 公開（公告）日： | 2007-05-30 |
| 發明（設計）人： | 杰佛瑞·L·所羅門;邁克爾·C·利;理查德·C·艾倫 | 申請（專利權）人： | 3M創新有限公司 |
| 主分類號： | G02F1/1337 | 分類號： | G02F1/1337;G02B27/30;F21V7/00 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 | 代理人： | 顧紅霞;張天舒 |
| 地址： | 美國明*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 偏振 uv 曝光 系統 | ||
【說明書】：
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