[發明專利]襯底周邊部分測量裝置以及襯底周邊部分拋光設備有效
| 申請號： | 200580017342.3 | 申請日： | 2005-05-23 |
| 公開（公告）號： | CN1960836A | 公開（公告）日： | 2007-05-09 |
| 發明（設計）人： | 多田光男;須藤康成;市原博文;伊藤賢也;高橋圭瑞 | 申請（專利權）人： | 株式會社荏原制作所 |
| 主分類號： | B24B49/12 | 分類號： | B24B49/12;B24B9/00;H01L21/304;G01B11/30;G01N21/956 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 王英 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 襯底 周邊 部分 測量 裝置 以及 拋光 設備 | ||
【說明書】：
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