[發明專利]多孔金剛石膜的制造無效
| 申請號： | 200580016983.7 | 申請日： | 2005-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN1957469A | 公開（公告）日： | 2007-05-02 |
| 發明（設計）人： | 克拉馬哈提·拉維 | 申請（專利權）人： | 英特爾公司 |
| 主分類號： | H01L23/532 | 分類號： | H01L23/532;C23C16/56;C23C16/27 |
| 代理公司： | 北京嘉和天工知識產權代理事務所 | 代理人： | 嚴慎 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多孔 金剛石 制造 | ||
【權利要求書】：
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