[發明專利]摻雜有較襯底原子擴散速度更慢原子的隔離層的半導體器件無效
| 申請號： | 200580016104.0 | 申請日： | 2005-05-19 |
| 公開（公告）號： | CN101023531A | 公開（公告）日： | 2007-08-22 |
| 發明（設計）人： | 王琪;安伯·克雷林－恩戈;侯賽因·帕拉維 | 申請（專利權）人： | 仙童半導體公司 |
| 主分類號： | H01L29/76 | 分類號： | H01L29/76 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 繆利明 |
| 地址： | 美國*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 摻雜 襯底 原子 擴散 速度 隔離 半導體器件 | ||
【權利要求書】：
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